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【摘要】万量激光干涉仪作为高精度几何量测量的核心设备，其微米级精度的实现与维持依赖于科学、系统的校准工作。本文阐述了激光干涉仪的测量原理，重点分析了影响其精度的关键因素，包括环境条件、光学组件性能及仪器自身误差，并系统介绍了实现微米级精度校准所涉及的主要方法、标准器具及校准流程，旨在为保障该仪器在精密制造、计量检测等领域的可靠应用提供参考。 【关键词】激光干涉仪；精度校准；微米级精度；几何量测量

题目：万量高精度卡尺：精密测量的卓越工具

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